Email: zf@zfcera.com

Telephone: +86-188 8878 5188

অর্ধপরিবাহী সরঞ্জামগুলিতে ব্যবহৃত নির্ভুল সিরামিক উপাদানগুলির জন্য অভ্যন্তরীণ নিয়ন্ত্রণ নির্বাচনের বৈশিষ্ট্যের তালিকা

2026-06-18

যথার্থ সিরামিক ( উন্নত সিরামিক ) সেমিকন্ডাক্টর উত্পাদন প্রক্রিয়াতে একটি অপরিহার্য ভূমিকা পালন করে (ওয়েফার উত্পাদন থেকে ওয়েফার বন্ধন, প্যাকেজিং এবং টেস্টিং) কারণ এটির উচ্চ তাপমাত্রা প্রতিরোধ, জারা প্রতিরোধ ক্ষমতা, উচ্চ কঠোরতা, উচ্চ তাপ পরিবাহিতা এবং চমৎকার নিরোধক। বিশ্বব্যাপী সমন্বিত সার্কিট উত্পাদন প্রক্রিয়ার দিকে অগ্রসর হয় 3nm 、 2nm আরও উন্নত প্রক্রিয়ার বিবর্তনের সাথে সাথে, সরঞ্জামের অভ্যন্তরে কঠোর কাজের অবস্থা উপাদানের বিশুদ্ধতা, প্রক্রিয়াকরণের নির্ভুলতা এবং মূল সিরামিক উপাদানগুলির প্লাজমা প্রতিরোধের জীবনের জন্য চরম চ্যালেঞ্জ তৈরি করেছে। এই নিবন্ধটি এন্টারপ্রাইজগুলির অভ্যন্তরীণ প্রযুক্তিগত ডকুমেন্টেশনের সমস্যা সমাধানের লক্ষ্য “ মেশিন অ্যাপ্লিকেশনের সাথে সম্পর্কিত খালি এবং অনুপস্থিত পরামিতি ” সমস্যা এবং নির্ভুল সিরামিক সব বিভাগের জন্য মূল প্রযুক্তি অভ্যন্তরীণ নিয়ন্ত্রণ মান স্থাপন.

সেমিকন্ডাক্টর নির্ভুল সিরামিক “ চার মূল উপকরণ ”

সিরামিক উপকরণ এবং বিশুদ্ধতা প্রয়োজনীয়তা	মূল শারীরিক কর্মক্ষমতা সূচক	জারা প্রতিরোধী / উচ্চ তাপমাত্রা প্রতিরোধের সীমা	মেশিনিং সীমা সহনশীলতা	ফ্রন্ট-লাইন কোর মেশিনের সাথে চিঠিপত্র
উচ্চ বিশুদ্ধতা অ্যালুমিনা (Al2O3 ≥ 99.8%)	ভলিউম প্রতিরোধকতা : >10^14 Ω·সেমি কঠোরতা : 1800 HV ইলাস্টিক মডুলাস : 380 জিপিএ	ফ্লোরিন-ভিত্তিক প্লাজমা ক্ষয় প্রতিরোধী তাপমাত্রা প্রতিরোধের : 1600℃	সমতলতা : ≤ 2μm রুক্ষতা : Ra 0.1μm ন্যূনতম অ্যাপারচার : 0.3 মিমি	এচিং মেশিন গহ্বর আস্তরণের গ্যাস ছিটানো মাথা ভ্যাকুয়াম সাকশন কাপ
উচ্চ তাপ পরিবাহিতা অ্যালুমিনিয়াম নাইট্রাইড (আলএন ≥ 99%)	তাপ পরিবাহিতা : 170-220 W/(m·K) তাপ সম্প্রসারণ সহগ : 4.5×10^-6/K ব্রেকডাউন ভোল্টেজ : ≥ 15 কেভি/মিমি	উচ্চ তাপমাত্রা, দ্রুত শীতল এবং দ্রুত গরম করার প্রতিরোধী তাপমাত্রা প্রতিরোধের : 1400℃	সমান্তরালতা : ≤ 3μm অভ্যন্তরীণ প্রবাহ চ্যানেলের সঠিকতা : 0.05 মিমি	ইলেক্ট্রোস্ট্যাটিক চক (ESC) সিভিডি গরম করার টেবিল পাওয়ার ডিভাইস সাবস্ট্রেট
উচ্চ কঠিন সিলিকন কার্বাইড (SIC, বিনামূল্যে Si≤0.1%)	ইলাস্টিক মডুলাস : 410 জিপিএ তাপ পরিবাহিতা : 150 W/(m·K) মোহস কঠোরতা : 9.5	শক্তিশালী অ্যাসিড এবং ক্ষার গ্যাস ফেজ ক্ষয় প্রতিরোধী তাপমাত্রা প্রতিরোধের : 1800℃	বড় আকার (>1মি) বিকৃতি : ≤ 5μm মিরর রুক্ষতা : Ra 0.02μm	Etched ফোকাস রিং ডিফিউশন ফার্নেস ওয়েফার বোট লিথোগ্রাফি মেশিন ওয়ার্কপিস টেবিল ফ্রেম
উচ্চ দৃঢ়তা সিলিকন নাইট্রাইড (Si3N4)	ফ্র্যাকচার শক্ততা : 6.5 MPa·m^1/2 নমন শক্তি : 850 MPa ঘনত্ব : 3.2 গ্রাম/সেমি3	ক্লান্তি এবং প্রভাব উচ্চ প্রতিরোধের তাপমাত্রা প্রতিরোধের : 1200℃	ফিটিং ক্লিয়ারেন্স : 1-2μm ডায়নামিক ব্যালেন্সিং লেভেল : জি 1.0	উচ্চ গতির ভ্যাকুয়াম পাম্প সিরামিক বিয়ারিং ওয়েফার ডাইসিং মেশিন টাকু সিলিং এবং পরীক্ষার জন্য উচ্চ ফ্রিকোয়েন্সি ফিক্সচার

মূল সরঞ্জামের মূল উপাদানগুলির জন্য কর্মক্ষমতা এবং নিয়ন্ত্রণের মান

এচিং যন্ত্রপাতি —— কোর ভোগ্য সিস্টেম

ইন্টিগ্রেটেড সার্কিটের ফ্রন্ট-এন্ড এচিং প্রক্রিয়ায়, কিনা আইসিপি (ইন্ডাকটিভলি মিলিত প্লাজমা) বা সিসিপি (ক্যাপাসিটিভলি মিলিত প্লাজমা) মেশিন, গহ্বরের অভ্যন্তরীণ উপাদানগুলি অত্যন্ত সক্রিয় ফ্লোরিন র্যাডিকেলের সংস্পর্শে আসে (যেমন SF6 、 CF4 ) বা ক্লোরিন-ভিত্তিক প্লাজমা। শস্যের সীমানা ক্ষয়ের কারণে ঐতিহ্যবাহী উপকরণগুলি সহজেই চিপিংয়ের ঝুঁকিতে থাকে, যার ফলে ওয়েফারের মারাত্মক কণা দূষণ হয়।

মূল পণ্য: উচ্চ বিশুদ্ধতা সিলিকন কার্বাইড ফোকাসিং রিং

[ এচিং মেশিনের জন্য সিলিকন কার্বাইড SiC ফোকাস রিং পণ্য প্রকৃত ছবি ]

প্লাজমা ক্ষয় প্রযুক্তির জন্য অত্যন্ত প্রতিরোধী: এই পণ্যটি চাপহীন সিন্টারযুক্ত উচ্চ-বিশুদ্ধতার সিলিকন কার্বাইড ব্যবহার করে, যার মধ্যে মোট ধাতব অশুদ্ধতা রয়েছে ≤ 5 পিপিএম . এর অনন্য উচ্চ-ঘনত্বের সমন্বিত শস্য কাঠামোতে শক্তিশালী ফ্লোরিন-ভিত্তিক প্লাজমা বোমা হামলার অধীনে ফিউজড সিলিকার তুলনায় কম রাসায়নিক এচিং হার রয়েছে। 8-10 বার এটি নিশ্চিত করে যে ফোকাস রিং ক্রমাগত 200 ওয়েফার এচিং চক্রে, প্রান্ত ধাপের বিকৃতির হার কম ০.০৫% , যা ওয়েফার এজ এচিং এর অভিন্নতাকে ব্যাপকভাবে উন্নত করে এবং সামগ্রিক মেশিন ব্যবহারের হার উন্নত করে ( প্রচার 15% উপরে
সুনির্দিষ্ট প্রতিরোধ ক্ষমতা ডোপিং নিয়ন্ত্রণ: উন্নত শস্য সীমানা পরিবাহিতা নিয়ন্ত্রণ প্রযুক্তির মাধ্যমে, প্রতিরোধ ক্ষমতা স্থিরভাবে গ্রাহকের প্রয়োজনীয় নির্দিষ্ট পরিসরের মধ্যে নিয়ন্ত্রিত হয় ( 1-10Ω·সেমি ), শত শত ওয়াটের উচ্চ ফ্রিকোয়েন্সি আরএফ ( আরএফ ) শক্তি, নিশ্চিত করে যে প্লাজমা বৈদ্যুতিক ক্ষেত্র উল্লম্বভাবে এবং অভিন্নভাবে ওয়েফার প্রান্তে প্রবেশ করে, এচিং প্রান্তের প্রভাব দূর করে।

মূল পণ্য: উচ্চ-বিশুদ্ধতা অ্যালুমিনা স্পষ্টতা স্প্রিংকলার মাথা

[ উচ্চ-বিশুদ্ধতা অ্যালুমিনা সিরামিক স্প্রিংকলার মাথার মাইক্রো-হোল প্রক্রিয়াকরণের বিস্তারিত অঙ্কন ]

অতি-নির্ভুল মাইক্রোহোল প্রবাহ ক্ষেত্র প্রক্রিয়াকরণ: ব্যাস 300-450 মিমি ডিস্কে, অতিস্বনক এবং পাঁচ-অক্ষ নির্ভুলতার মাধ্যমে সিএনসি লিঙ্কড প্রক্রিয়াকরণ, বিন্যাস অতিক্রম 5000 ব্যাস হয় 0.3 মিমি-0.5 মিমি মাইক্রোপোর সম্পূর্ণ গর্ত ব্যাস সামঞ্জস্য সহনশীলতা প্রয়োজন ≤±0.01 মিমি , গর্ত ভিতরের প্রাচীর রুক্ষতা পৌঁছেছে Ra≤0.2μm , সম্পূর্ণরূপে burrs নিষ্কাশন. নিশ্চিত করুন যে প্রক্রিয়া গ্যাস (যেমন Ar, O2, N2 ) একেবারে লেমিনার প্রবাহ অবস্থায় ওয়েফার পৃষ্ঠের উপর স্প্রে করা হয়।
কর্পোরেট অভ্যন্তরীণ নিয়ন্ত্রণ ব্যর্থতার জন্য পাল্টা ব্যবস্থা: [শস্যের সীমানা ক্র্যাকিং এবং কণা দূষণ সুরক্ষা] এই সমস্যাটির পরিপ্রেক্ষিতে যে ঐতিহ্যবাহী অ্যালুমিনা অংশগুলি মাইক্রোপোরের প্রান্তে তাপীয় চাপের মুক্তির কারণে মাইক্রো-ফাটলের প্রবণতা রয়েছে, এই পণ্যটিকে কারখানা ছাড়ার আগে পরীক্ষায় উত্তীর্ণ হতে হবে। 100% পোলারাইজড স্ট্রেস মিটার সনাক্তকরণ, অ-ধ্বংসাত্মক রাসায়নিক পিকলিং এবং যন্ত্রের অবশিষ্ট স্ট্রেস দূর করতে এবং নিশ্চিত করতে পৃষ্ঠে পলিশিং 3000 ঘন্টা: ক্রমাগত এচিং পরিষেবার সময় কোনও স্থানীয় ক্লিভেজ বা চিপিং ঘটে না।

পাতলা ফিল্ম জমা করার সরঞ্জাম ( সিভিডি/পিভিডি মেশিন) —— উচ্চ তাপমাত্রা এবং উচ্চ চাপ পরিবেশ

রাসায়নিক বাষ্প জমা ( সিভিডি ) এবং পারমাণবিক স্তর জমা ( ALD ) প্রক্রিয়ায় প্রতিক্রিয়ার জন্য অগ্রদূত গ্যাস গরম করার প্রয়োজন হয় এবং পরিবেষ্টিত তাপমাত্রা সর্বদা থাকে 400℃-1000℃ মধ্যে ওয়েফারটি অবশ্যই একেবারে সমতল এবং দ্রুত এবং এমনকি তাপ বিতরণ সহ স্থির হতে হবে।

মূল পণ্য: অ্যালুমিনিয়াম নাইট্রাইড নির্ভুলতা ইলেক্ট্রোস্ট্যাটিক চক

[ অ্যালুমিনিয়াম নাইট্রাইড আলএন সেমিকন্ডাক্টর ইলেক্ট্রোস্ট্যাটিক চক এবং হিটারের চেহারা ]

চূড়ান্ত তাপ সঞ্চালন এবং তাপ মিলের অনুপাত: অ্যালুমিনিয়াম নাইট্রাইড（ আলএন ) পর্যন্ত একটি তাপ পরিবাহিতা আছে 180-220 W/(m·K) , এর তাপ সম্প্রসারণ সহগ ( 4.5×10^-6/K ) মধ্যে 25℃-800℃ সম্পূর্ণ তাপমাত্রা পরিসরে এবং মনোক্রিস্টালাইন সিলিকন ওয়েফার ( 4.2×10^-6/K ) একটি নিখুঁত ম্যাচ অর্জন করতে। উচ্চ শক্তির দ্রুত গরম করার প্রক্রিয়া চলাকালীন, এটি কার্যকরভাবে তাপীয় চাপকে নষ্ট করে এবং সিলিকন ওয়েফারের তাপ স্লিপ প্রতিরোধ করে ( স্লিপ ) স্থানচ্যুতি বা ওয়ারিং বিকৃতি, যাতে ওয়েফার পৃষ্ঠের তাপমাত্রা ক্ষেত্রের অসমতা কঠোরভাবে নিয়ন্ত্রণ করা হয় ≤±0.5℃ 。
উচ্চ তাপমাত্রা এবং উচ্চ ভোল্টেজ নিরোধক সমন্বিত ছাঁচনির্মাণ: মাল্টি-লেয়ার কো-ফায়ারড সিরামিক ব্যবহার করে ( এইচটিসিসি ) প্রযুক্তি, উচ্চ গলনাঙ্ক টংস্টেন ব্যবহার করে / মলিবডেনাম হট ইলেক্ট্রোড এবং ইলেক্ট্রোস্ট্যাটিক শোষণ ইলেক্ট্রোড প্যাটার্ন সরাসরি মুদ্রিত এবং এমবেড করা হয় আলএন ম্যাট্রিক্সের ভিতরে। এমনকি মধ্যে 600℃ উচ্চ তাপমাত্রায়, ভলিউম প্রতিরোধ ক্ষমতা থাকে ≥10^11Ω·সেমি , নিরোধক ভাঙ্গন ভোল্টেজ ≥ 15kV/মিমি , সম্পূর্ণরূপে কুলম্ব বল এবং অভিযোজিত জে-আর প্রভাব শোষণ ডুয়াল স্পেসিফিকেশন.

মূল পণ্য: উচ্চ-তাপমাত্রার ফার্নেস টিউবের জন্য উচ্চ-বিশুদ্ধতা সিলিকন কার্বাইড ওয়েফার ক্যারিয়ার

[ উচ্চ-তাপমাত্রা উল্লম্ব ছড়িয়ে পড়া চুল্লিগুলির জন্য উচ্চ-বিশুদ্ধতার সিলিকন কার্বাইড ওয়েফার বোট স্লটের বিশদ দৃশ্য ]

উচ্চ তাপমাত্রা ক্রীপ নিয়ন্ত্রণ: 在 1200℃ উচ্চ-তাপমাত্রার উল্লম্ব প্রসারণ চুল্লিগুলিতে, ঐতিহ্যবাহী কোয়ার্টজ বোটগুলি দীর্ঘমেয়াদী স্ব-ওজন এবং ওয়েফার লোডের কারণে উচ্চ-তাপমাত্রার ক্রীপ (বাঁকানো বিকৃতি) প্রবণ হয়। এই পণ্য recrystallization গ্রহণ / চাপহীন sintered সিলিকন কার্বাইড, ইন 1350℃ বাঁকানোর শক্তি চরম উচ্চ তাপমাত্রার অধীনে হ্রাস পায় না, এবং এটি দীর্ঘমেয়াদী পরিষেবাতে বাঁকানো বা পাকা হয় না, স্বয়ংক্রিয়ভাবে ওয়েফার ঢোকানো এবং অপসারণ করার সময় স্বয়ংক্রিয় ম্যানিপুলেটরগুলির নিখুঁত অবস্থানের নির্ভুলতা নিশ্চিত করে।

ওয়েফার স্থানান্তর এবং স্বয়ংক্রিয় হ্যান্ডলিং সিস্টেম —— উচ্চ গতি এবং উচ্চ ফ্রিকোয়েন্সি কম্পন স্যাঁতসেঁতে

উন্নত প্রক্রিয়াগুলির উত্পাদন ক্ষমতা বৃদ্ধির সাথে সাথে ওয়েফার পরিচালনাকারী রোবটগুলির ত্বরণ পৌঁছেছে বা এমনকি ছাড়িয়ে গেছে 2জি , কোনো সামান্য যান্ত্রিক কম্পন ওয়েফার চিপিং বা পিছনে স্ক্র্যাচ হতে পারে.

মূল পণ্য: উচ্চ নির্দিষ্ট কঠোরতা এবং বড় আকারের সিলিকন কার্বাইড রোবোটিক আর্ম

[ উচ্চ ভ্যাকুয়াম উচ্চ ত্বরণ ভ্যাকুয়াম হ্যান্ডলিং সিরামিক ম্যানিপুলেটর আর্ম ডায়াগ্রাম ]

অত্যন্ত উচ্চ দৃঢ়তা এবং তাত্ক্ষণিক-স্টপ কম্পন হ্রাস: সিলিকন কার্বাইড ইলাস্টিক মডুলাস ( ~410 জিপিএ ) ইস্পাত দিয়ে তৈরি 2 বার, অ্যালুমিনিয়াম 6 বার এর নির্দিষ্ট দৃঢ়তা (ইলাস্টিক মডুলাস / ঘনত্ব) ইঞ্জিনিয়ারিং উপকরণগুলির মধ্যে একটি অত্যন্ত উচ্চ স্তরে। সিলিকন কার্বাইড রোবট আর্মটি একটি ফাঁপা এবং লাইটওয়েট কাঠামোর সাথে ডিজাইন করা হয়েছে। উচ্চ-গতির শুরু এবং থামার সময় কাঠামোগত প্রতিক্রিয়া বিলম্ব ঐতিহ্যগত ধাতব অংশগুলির তুলনায় কম। ৮৫% উপরে, বাহুর শেষে অবশিষ্ট কম্পনের সময় কম 0.05 সেকেন্ড এটি পরিবহণের সময় সমস্যার সম্পূর্ণ সমাধান করতে পারে “ ফ্লটার স্ক্র্যাচ ” ব্যথা পয়েন্ট, সুরক্ষা 12 ইঞ্চি ( 300 মিমি ) বড় আকারের পাতলা ওয়েফারের উচ্চ-গতি এবং উচ্চ-নির্ভুলতা হস্তান্তর।
বড় আকারের প্রক্রিয়াকরণের জন্য মাত্রিক স্থায়িত্ব: দৈর্ঘ্য অতিক্রম করে 1000 মিমি বড় আকারের রোবোটিক বাহুটির মধ্যে একটি সমতলতা সহনশীলতা নিয়ন্ত্রিত হয় ≤ 0.02 মিমি ভিতরে, পুরো পৃষ্ঠটি মিরর পালিশ করা হয় ( Ra≤0.05μm ), কোন ঘর্ষণ ছাড়া কণা মুক্তি.

মূল পণ্য: ছিদ্রযুক্ত সিরামিক ভ্যাকুয়াম কাপ

[ ছিদ্রযুক্ত সিরামিক ভ্যাকুয়াম কাপ ]

অভিন্ন ছিদ্রযুক্ত নেতিবাচক চাপ শোষণ: গড় ছিদ্র ব্যাস এ নিয়ন্ত্রিত হয় 10-30μm , porosity এ স্থিতিশীল ৩৫%-৪৫% . সমস্ত পৃষ্ঠের মাইক্রোপোরগুলির মাধ্যমে, সমগ্র পৃষ্ঠ জুড়ে অভিন্ন নেতিবাচক চাপ অর্জন করা হয়, পাতলা ওয়েফারগুলিতে ঐতিহ্যগত কেন্দ্রীভূত সাকশন কাপ দ্বারা সৃষ্ট স্থানীয় চাপের ঘনত্ব এবং স্থানীয় বিষণ্নতা বিকৃতি এড়ানো, ওয়েফার পরিদর্শন নিশ্চিত করা এবং সিএমপি পলিশিংয়ের সময় পৃষ্ঠটি ন্যানোমিটার-স্তরের সমতল থাকে।

বিভিন্ন উপকরণ অভিযোজন সারসংক্ষেপ

অ্যালুমিনা সিরামিক নির্ভুল কাঠামোগত অংশ সিরিজ

প্রধান মূল পয়েন্টগুলি হল: উচ্চ খরচ কর্মক্ষমতা, উচ্চ বিশুদ্ধতা, ধুলো প্রতিরোধ, এবং শক্তিশালী সর্বজনীন নিরোধক। • প্রযোজ্য পণ্য কীওয়ার্ড: অর্ধপরিবাহী সিরামিক আস্তরণের, অ্যান্টি-জারা অন্তরক রিং, উচ্চ-বিশুদ্ধতা সিরামিক অন্তরক বুশিং, সিরামিক অন্তরক ফ্ল্যাঞ্জ।

[ সেমিকন্ডাক্টর-গ্রেডের উচ্চ-বিশুদ্ধতা অ্যালুমিনা সিরামিক কাঠামোগত অংশগুলির বিভিন্ন স্পেসিফিকেশনের সংগ্রহ ]

সিলিকন কার্বাইড সিরামিক প্রতিক্রিয়া

প্রধান মূল পয়েন্ট: প্লাজমা এচিং প্রতিরোধ, হামাগুড়ি ছাড়া চরম উচ্চ তাপমাত্রা প্রতিরোধ, উচ্চ নির্দিষ্ট কঠোরতা এবং বড় আকারের সমন্বিত ছাঁচনির্মাণ। • প্রযোজ্য পণ্য কীওয়ার্ড: SiC এচিং ফোকাসিং রিং, সেমিকন্ডাক্টর সিলিকন কার্বাইড ক্যান্টিলিভার বিম, উল্লম্ব চুল্লি সিলিকন কার্বাইড বোট, সিএমপি পলিশিং রিং, উচ্চ দৃঢ়তা সিরামিক যান্ত্রিক হাত।

[ উচ্চ বিশুদ্ধতা প্রতিক্রিয়া sintering সিলিকন কার্বাইড নির্ভুলতা সিরামিক অংশ চিত্র ]

অ্যালুমিনিয়াম নাইট্রাইড陶瓷 উচ্চ তাপ পরিবাহিতা /এইচটিসিসি তামা পরিহিত সিরিজ

প্রধান মূল পয়েন্ট: অতি-উচ্চ তাপ অপচয়, তাপ সম্প্রসারণ সহগ পুরোপুরি একক ক্রিস্টাল সিলিকনের সাথে মিলে যায়, মাল্টি-লেয়ার কো-ফায়ারিং ( এইচটিসিসি ) এমবেডেড সার্কিট প্রযুক্তি। • প্রযোজ্য পণ্য কীওয়ার্ড: আলএন ইলেক্ট্রোস্ট্যাটিক চক বেস, সেমিকন্ডাক্টর লেজার হিটিং উপাদান, উচ্চ শক্তি এলইডি/আইজিবিটি সিরামিক তাপ অপচয় সাবস্ট্রেট, ধাতব অ্যালুমিনিয়াম নাইট্রাইড সিরামিক।

[ উচ্চ তাপ পরিবাহিতা অ্যালুমিনিয়াম নাইট্রাইড সিরামিক সাবস্ট্রেট]

সিলিকন নাইট্রাইড সিরামিক অতি-উচ্চ শক্তি

প্রধান মূল পয়েন্ট: সিরামিকের রাজা, উচ্চ ফ্র্যাকচার শক্ততা, প্রভাব প্রতিরোধ, পরিধান প্রতিরোধ এবং কোন পাউডার লস, উচ্চ-গতি ঘোরানো গতিশীল ভারসাম্য। • প্রযোজ্য পণ্য কীওয়ার্ড:真空泵陶瓷轴承、半导体划片机陶瓷主轴、高频封测测试治具座、耐磨陶瓷柱塞泵芯。