অক্সালুমিনা সিরামিক সাকশন কাপ প্লেট যথার্থ হ্যান্ডলিং সিস্টেমের ক্ষেত্রে একটি বিপ্লবী পণ্য। এটি α-অ্যালুমিনা সিরামিক (α-Al₂O₃) দিয়ে তৈরি যার বিশুদ্ধতা ≥99.9%, সর্বোত্তম ভ্যাকুয়াম বন্টন অর্জনের জন্য একটি ইঞ্জিনিয়ারড ছিদ্রযুক্ত কাঠামোর সাথে মিলিত। প্রথাগত ধাতু বা পলিমার সাকশন কাপের সাথে তুলনা করে, এই সিরামিক দ্রবণটি কণা দূষণের ঝুঁকি সম্পূর্ণভাবে দূর করে, যখন চরম তাপমাত্রা (1750°C ক্রমাগত অপারেশন) এবং ক্ষয়কারী পরিবেশ সহ্য করতে সক্ষম হয়। এর অনন্য মাইক্রোস্ট্রাকচার (2-5μm অভিন্ন ছিদ্র আকার, 3.89g/cm³ ঘনত্ব) সাবমাইক্রন সমতলতা (সারফেস রুক্ষতা Ra≤0.1μm) নিশ্চিত করে, এটিকে একমাত্র পেশাদার সাকশন কাপ প্ল্যাটফর্ম তৈরি করে যা ±0.1μm এর সাকশন নির্ভুলতার সাথে 300mm সেমিকন্ডাক্টর ওয়েফার পরিচালনা করতে পারে।
1. উপাদান কর্মক্ষমতা মধ্যে যুগান্তকারী
তাপীয় স্থিতিশীলতা: 800°C তাপীয় শক চক্রে কোন বিকৃতি নেই, এবং একটি পরিষেবা জীবন খাদ সাকশন কাপ (উচ্চ তাপমাত্রা প্রক্রিয়া পরিবেশ) এর চেয়ে 5 গুণ বেশি।
রাসায়নিক প্রতিরোধের: 30% সালফিউরিক অ্যাসিড নিমজ্জনের 1 বছরের ওজন হ্রাস 0.01g এর কম, ব্যাটারি ইলেক্ট্রোলাইট অপারেশন এবং রাসায়নিক বাষ্প জমা প্রক্রিয়ার জন্য উপযুক্ত।
নিরোধক কর্মক্ষমতা: ব্রেকডাউন ক্ষেত্রের শক্তি 40kV/মিমি পৌঁছেছে, প্লাজমা এচিং চেম্বারে নিরাপদ অপারেশন নিশ্চিত করে।
2. প্রকৌশল নকশা উদ্ভাবন
পোরোসিটি কন্ট্রোল: জেল ইনজেকশন মোল্ডিং প্রক্রিয়ার মাধ্যমে 40% পোরোসিটি অর্জন করা হয় এবং 1-3μm ছিদ্র প্রাচীরের কাঠামো অতি-পাতলা অংশগুলি (≤50μm) শোষণ এবং বিকৃতি থেকে বাধা দেয়।
ইন্টেলিজেন্ট আর্কিটেকচার: অন্তর্নির্মিত তাপমাত্রা সেন্সর -196℃ থেকে অতি-উচ্চ তাপমাত্রার পরিবেশে রিয়েল-টাইম তাপ ব্যবস্থাপনা সমর্থন করে।
